【摘 要】
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采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiOz膜表面的油脂污染物进行清洗.利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
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采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiOz膜表面的油脂污染物进行清洗.利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表征,并分析清洗前后溶胶-凝胶SiO2膜的激光损伤阚值变化.损伤阈值测试表明,1064 nm波长的激光损伤阈值由污染后的16.08J/cm2上升到24.41J/cm2,与污染前24.72 J/cm2的损伤阈值相当.同时还获取清洗的最佳时间为10s.清洗前后,溶胶-凝胶SiO2膜保持完好,且未产生新的有机污染物.研究结果表明:大气常压等离子射流技术可对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行有效地清洗,从而提高溶胶-凝胶SiO2膜的透过率和激光损伤阈值,为高功率激光装置的稳定运行提供保障.
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