MOCVD法生长ZnO薄膜的结构及光学特性

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采用MOCVD方法在c-Al2O3衬底上生长出了具有单一c轴取向的ZnO薄膜,采用X射线衍射(XRD)、Raman散射、X射线光电子能谱(XPS)及光致发光(PL)谱等方法对ZnO薄膜的结构及光学特性进行分析测试.XRD分析只观察到ZnO薄膜(0002)衍射峰,其FWHM数值为O.184°.Raman散射谱中,435.32 cm-1处喇曼峰为ZnO的E2(high)振动模,A1(LO)振动模位于575.32 cm-1处.XPS分析表明:ZnO薄膜表面易吸附游离态氧,刻蚀后ZnO薄膜O1 光电子能
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