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建立了一种计算Si(001)-(2×2×1):H表面O2吸附的理论模型.在周期性边界条件下,采用基于密度泛函理论广义梯度近似的超软赝势法对Si(001)-(2×2×1):H表面O2吸附进行了第一性研究.通过占位能的计算,得到了Si(001)-(2×2×1):H表面O2的最佳吸附位置.计算结果表明吸附后的反应产物应为Si=O和H2O,从理论上支持了D.Kovalev等人提出反应机制.