论文部分内容阅读
对自行研制的超高真空化学气相外延设备（RHT／UHV／CVDSGE500）的气路系统进行了改进，使之能够生长出较好的Ge分布图形。利用X射线双晶衍射（DCXRD）和二次离子质谱（SIMS）测试技术，研究并优化了外延生长参量，最终得到了具有优化Ge分布的SiGe材料。
超高真空CVD对锗硅外延材料中锗分布的优化
【摘 要】
：
对自行研制的超高真空化学气相外延设备（RHT／UHV／CVDSGE500）的气路系统进行了改进，使之能够生长出较好的Ge分布图形。利用X射线双晶衍射（DCXRD）和二次离子质谱（SIMS）测试技术，研究并优
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2006年5期
其他文献
本文介绍了瑞士苏黎世联邦理工学院当代历史档案馆在文化遗产保护与数字化运用方面的成功经验,并通过近年来三个以档案数字化为前提的跨文化合作项目,来说明全球化背景下进行
一项审计节省建设资金一○二万元李木林，魏祖武今年七月，南昌审计师事务所接受某教会委托，对核教会兴建的综合搂基本建设工程项目竣工决算进行了审计，该工程项目属框混结构、建筑
以实现＂中国梦＂为契机的中国特色社会主义事业已经进入全面起航阶段,工会作为国家政权的重要社会支柱,要不断创新工会工作机制,围绕＂以职工为本＂的工作理念,坚持服务对象广泛性与
教育活动的内容分为两项:一是参观“春风拂绿古渔阳——密云区区情展览”,进一步了解革命先烈为中华民族的解放、新密云的建立和建设呕心沥血的丰功伟绩;二是观看《建设密云
在国有企业基层党组织中探索实施以持续提升组织和个人绩效,保证企业发展目标实现为目的的绩效管理,对于健全基层党组织的工作制度和工作机制,有效发挥基层党组织职能作用有
基建、装潢市场存在的问题及其对策王立夫近几年，基建、装潢工程成了一些人的追逐热点，牟取暴利的工具，原因是目前基建和装潢市场的管理不规范、不严格，使得施工承包人有空可钻，造
铁路配电所具有设备数量多、分布集中和技术要求高等特点。文章以某铁路10kv配电所线路改造工程为例，详细分析了改造工程的施工内容与施工技术，指出了施工中需要注意的问题。
混沌现象广泛存在于机械系统中，进一步认识和控制混沌现象对机械系统的应用与研究有着极其重要的意义。文章基于机械系统中所存在的混沌现象，阐述了机械系统中混沌现象的控制方
3月26日。宗贻平院长、周文祥副院长、李志刚助理等一行到国资委培训中心（中央党校国资委分校）进行交流座谈。座谈期间，宗院长回顾了我院和国资委培训中心的合作情况，介绍了学院