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使用中心波长800 nm、重复频率1 k Hz的飞秒激光,在金属钨表面斜入射下制备了亚波长周期光栅结构,在入射角为0°~80°时,光栅结构的周期为349~620 nm.利用表面等离子体激元的理论分析了在钨表面制备光栅结构的过程,实验结果与理论符合较好.利用严格耦合波分析方法计算了实验中得到的光栅结构的反射光谱,其吸收增强波长大小与光栅结构周期相近.研究结果表明：利用飞秒激光可以在金属表面直接诱导周期可控的光栅结构,此光栅结构具有一定的应用前景.