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利用（110）硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽。由于在该方位腐蚀出的不标准的Ⅴ型槽，难以对此精确设计来固定光纤。设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串，所形成的锯齿状沟槽结构采固定光纤。依据硅的各向异性腐蚀特性对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计。由于腐蚀过程中锐角凸角和钝角凸角产生的削角面不一致，致使锯齿状沟槽精确固定光纤产生偏差，设计采用菱形凸角补偿结构进行完善，从而达到精确固定光纤的目的。