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针对测量机接触式测头在动态测量过程中精度低这一问题，分析了测头的动态误差来源，并通过标准球的测量实验验证了影响测头动态测量精度的主要因素，其中逼近速率、测杆长度、测端直径是关键的3个影响因素。为了减小测头引起的动态测量误差，引入了RBF神经网络误差补偿模型，从而避免了传统误差模型中复杂的数学关系的推导。在Global Class 9158测量机上对标准球的测量数据建立了训练样本，并对标准环规的测量数据作为测试样本进行误差补偿。测试结果表明经过误差模型补偿修正后测量误差均值从3．5μm减小到1．3μm，并且