【摘 要】
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通过离子交换技术对衬底表面改性,然后喷墨打印掩膜图形,在聚酰亚胺衬底两面分别制备了银叉指电极和加热电阻。通过调节电阻加热器两端的直流偏压,实现25℃~280℃的控温加热
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61076070)
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通过离子交换技术对衬底表面改性,然后喷墨打印掩膜图形,在聚酰亚胺衬底两面分别制备了银叉指电极和加热电阻。通过调节电阻加热器两端的直流偏压,实现25℃~280℃的控温加热。集成的加热器具有双重功能:纳米ZnO敏感薄膜原位沉积和高温检测。结果表明,该传感器对丙酮气体的灵敏度随温度单调增加(<150℃)。此外,加热器促进了ZnO敏感薄膜表面丙酮气体分子的解吸,缩短了传感器响应和恢复时间,并减小了初始电阻的漂移。此外,在丙酮检测中,加热器能有效地减少湿度干扰。
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