低氟溶胶-凝胶法制备Φ76.2mm YBCO薄膜

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaosun988
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中文摘要:采用低氟溶胶-凝胶法在Ф 76.2 mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Ф 76.2 mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析。结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能
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