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在介绍了北大微电子所开发的两层多晶硅表面微加工工艺和源于加州Berkely传感器与执行器研究中心的三层多晶硅表面微加工工艺的基础上，介绍了美国Sandia国家实验室开发的五层MEMS表面微加工工艺的主要技术特点。给出了利用这三种表面微加工工艺制备的一些微机械表面器件及其技术特点。
MEMS表面微加工工艺技术
【摘 要】
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在介绍了北大微电子所开发的两层多晶硅表面微加工工艺和源于加州Berkely传感器与执行器研究中心的三层多晶硅表面微加工工艺的基础上，介绍了美国Sandia国家实验室开发的五层M
【机 构】
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合肥工业大学理学院
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2006年4期
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