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扩散pn结扩散p区中平均少子扩散长度的测定
扩散pn结扩散p区中平均少子扩散长度的测定
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zpe3werv
【摘 要】
:
本文分析了用表面光压(SPV)法测量扩散pn结扩散p区中平均少子扩散长度的可行性,给出了有效少子扩散长度L_0与结深x_i、扩散区及衬底少子扩散长度L_1、L_2的关系曲线;提供了一
【作 者】
:
夏银水
张秀淼
【机 构】
:
宁波师范学院,杭州大学宁波315020
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1992年5期
【关键词】
:
少子扩散长度
PN结
半导体材料
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本文分析了用表面光压(SPV)法测量扩散pn结扩散p区中平均少子扩散长度的可行性,给出了有效少子扩散长度L_0与结深x_i、扩散区及衬底少子扩散长度L_1、L_2的关系曲线;提供了一种确定扩散区少子扩散长度的方法。
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