氟-氧化物复合薄膜的特性研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：skybabay

【摘要】

：

以SiO2、TiO2、YF3为单组分材料分别制备了SiO2/YF3、TiO2/YF3复合薄膜,探究复合后膜层的光学、力学以及抗激光损伤性能的变化情况.采用双源共蒸技术,通过控制膜料蒸发时的沉

【作者】

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师云云徐均琪苏俊宏

【机构】

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西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2020年8期

【关键词】

：

复合薄膜氟化物氧化物双源共蒸技术光学性能应力激光损伤阈值 Composite filmsFluorideOxideDual-source co-ev

【基金项目】

：

陕西省国际科技合作与交流计划(Nos.2018KWZ-02,2016KW-036),陕西省自然科学基础研究计划(No.2016JZ025),西安市智能探视感知重点实验室项目(No.201805061ZD12CG45)

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以SiO2、TiO2、YF3为单组分材料分别制备了SiO2/YF3、TiO2/YF3复合薄膜,探究复合后膜层的光学、力学以及抗激光损伤性能的变化情况.采用双源共蒸技术,通过控制膜料蒸发时的沉积速率制备了混合摩尔比为1∶1的两种氟氧化物复合薄膜,对复合膜层的折射率、消光系数、透射特性、表面形貌、粗糙度进行了测量,并研究了其抗激光损伤性能.结果表明:SiO2/YF3、TiO2/YF3复合膜层的折射率分别为1.4787和1.8646(波长550 nm),介于单组分材料之间(YF3为1.4936、SiO2为1.4

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