【摘 要】
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我国半导体设备现状及发展建议(续)张世恩童志义(电子工业部第四十五研究所甘肃平凉744000)2.3半导体设备发展的技术趋势晶片加工设备的设计和技术是靠微处理器和DRAM两种主要器件产品来推动的
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我国半导体设备现状及发展建议(续)张世恩童志义(电子工业部第四十五研究所甘肃平凉744000)2.3半导体设备发展的技术趋势晶片加工设备的设计和技术是靠微处理器和DRAM两种主要器件产品来推动的。这两种芯片产品是整个半导体工业技术进步之源,而且两者的...
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