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介绍国内外MEMS（micro-electro-mechanical system）材料力学性能的测试方法，包括纳米压痕法、薄膜打压法、梁弯曲试验、微拉曼光谱法、单轴拉伸法等。分析各种测试方法的优缺点、基本原理和最新进展。详细介绍单轴拉伸试验方法的试验原理、特点及发展现状，在此基础上介绍作者们在MEMS材料单轴拉伸试验方面的阶段性研究成果，包括单轴拉伸试样设计、夹具设计、加载方法及应变测量技术等。试样和夹具的设计采用有限元方法模拟不同形状参数试样的拉伸试验过程，确定试样的外形和尺寸。应变测量采用的是激光干