平面反射镜光学薄膜的制备

来源 :光电技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaodong618

【摘要】

：

以薄膜原理为基础,通过Essential Macleod软件进行膜系设计.采用电子束加热蒸发的镀膜方式,利用设计工装制备了介质ZrO2-SiO2高反射膜层和金属铝反射膜层.介质高反膜层在1.06

【作者】

：

王保松刘军成陈静

【机构】

：

江苏金陵机械制造总厂

【出处】

：

光电技术应用

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

：

平面反射镜光学薄膜反射率

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以薄膜原理为基础,通过Essential Macleod软件进行膜系设计.采用电子束加热蒸发的镀膜方式,利用设计工装制备了介质ZrO2-SiO2高反射膜层和金属铝反射膜层.介质高反膜层在1.064μm波长处的反射率达到95%,金属铝反射膜层的在3μm～5μm波段内的平均反射率超过95%.膜层的技术指标和环境适应性能具有优质的质量.

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