【摘 要】
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为了提高记录道密度，采用了预（光）刻伺服码道技术，这就需要研制、开发高精度驱动定位装置的光刻专用设备。本文介绍我们所研制的光刻伺服录写设备中的驱动定位系统。
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为了提高记录道密度，采用了预（光）刻伺服码道技术，这就需要研制、开发高精度驱动定位装置的光刻专用设备。本文介绍我们所研制的光刻伺服录写设备中的驱动定位系统。
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