【摘 要】
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以石英陀螺的微结构为研究对象，对石英的湿法腐蚀规律进行研究。选用500μm厚Z切向石英片，蒸镀10nm厚Cr膜和200nm厚金膜作为掩模层，选用40％氢氟酸和40％氟化铵的1：1混合溶液作为腐蚀
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以石英陀螺的微结构为研究对象，对石英的湿法腐蚀规律进行研究。选用500μm厚Z切向石英片，蒸镀10nm厚Cr膜和200nm厚金膜作为掩模层，选用40％氢氟酸和40％氟化铵的1：1混合溶液作为腐蚀液。通过在不同温度下的腐蚀试验，表明腐蚀速率随温度增加而增大，温度过低腐蚀过慢影响腐蚀效率，温度过高使石英侧壁表面粗糙度增加。经过试验摸索，在70℃下腐蚀，可获得表面质量较好的石英微结构。石英在湿法腐蚀中结构侧壁会产生两级晶棱，根据侧壁主要晶面的腐蚀速率，计算出修平侧壁两级晶棱所需时间分别为8h和27h，经过试验验
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