【摘 要】
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一、前言近几年来国内对反渗透设备的研制已有了很大的进展,但国产反渗透设备用于大规模集成电路的超纯水制备系统,还需进一步试验,积累数据。为此,我们采用上海医药工业研
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一、前言近几年来国内对反渗透设备的研制已有了很大的进展,但国产反渗透设备用于大规模集成电路的超纯水制备系统,还需进一步试验,积累数据。为此,我们采用上海医药工业研究院研制的条束式反渗透设备来制备电子工业用的超纯水。
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