【摘 要】
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在 ICF靶参数测量中 ,用接触 X射线显微辐射照相法记录微球 X射线图像 ,采用精密表面轮廓仪处理微球 X射线图像 ,直接测量了单层微球壁厚。与光干涉法比较 ,两种方法测量结果
【机 构】
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在 ICF靶参数测量中 ,用接触 X射线显微辐射照相法记录微球 X射线图像 ,采用精密表面轮廓仪处理微球 X射线图像 ,直接测量了单层微球壁厚。与光干涉法比较 ,两种方法测量结果相差小于 0 .3 μm。
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