【摘 要】
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激光器回馈干涉（又称为自混合干涉）与传统的光干涉有实质不同。前者发生在激光器（光源）内部，激光介质增益对干涉效果（条纹形状等）起重要作用；而后者只发生在激光器外部的光路上。本文从应用的角度、也从和传统的激光干涉对比的角度探讨固体微片激光器回馈干涉仪的关键技术，包括对固体微片激光器回馈有特殊意义的“弛豫振荡”，高光灵敏度（完全非接触）的形成，测量精度提高、测量速度增加、频率稳定等；还将介绍作者团队研
【机 构】
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清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室
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激光器回馈干涉（又称为自混合干涉）与传统的光干涉有实质不同。前者发生在激光器（光源）内部，激光介质增益对干涉效果（条纹形状等）起重要作用；而后者只发生在激光器外部的光路上。本文从应用的角度、也从和传统的激光干涉对比的角度探讨固体微片激光器回馈干涉仪的关键技术，包括对固体微片激光器回馈有特殊意义的“弛豫振荡”，高光灵敏度（完全非接触）的形成，测量精度提高、测量速度增加、频率稳定等；还将介绍作者团队研究微片激光准共路-调频回馈干涉仪应用的成果，包括：回馈共焦显微技术，表面测量，振动（和声音）测量，面内位移测量，热膨胀系数测量，折射率测量等。
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