【摘 要】
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尺寸测量是工业CT的一个重要应用方向,但工业CT检测是非直接测量方式,尺寸测量是通过CT像素尺寸和像素值作为特征量来计算并实现的。当尺寸接近或小于有效射束宽度(BW)的小细
【机 构】
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中国兵器科学研究院宁波分院,中国五洲工程设计集团有限公司
【基金项目】
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国防技术基础项目(JSZL2018208C003),国家自然科学基金资助项目(61701446)
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尺寸测量是工业CT的一个重要应用方向,但工业CT检测是非直接测量方式,尺寸测量是通过CT像素尺寸和像素值作为特征量来计算并实现的。当尺寸接近或小于有效射束宽度(BW)的小细节或小缺陷尺寸测量时,使用常规的半高宽方法的测量误差很大,测量方法不再适用。采用调制传递函数曲线为特征量,通过软件统计计算等效直径的方法来确定小缺陷的尺寸。经过试验验证,这种测量方法对小缺陷尺寸的测量精度最差为138.%,87%以上的测量结果精度优于10%,具有有效性和适用性。
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