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研究了等离子体浸没离子注入(PⅢ)技术对Ti6Al4V合金表面性能的影响.分析比较了灯丝放电PiⅢ和射频辉光放电PⅢ对基体表面进行氮离子注入后的改性效果.应用X射线衍射仪(XRD),扫描电镜(SEM)分析了注入层的相组成和组织结构;测试了经不同PⅢ工艺参数处理后试样的显微硬度和摩擦磨损性能.结果表明:氮离子注入使Ti6Al4V的粗大晶粒(α-β相)转变为细小致密的晶粒,表面层中形成了耐磨相TiN;处理后试样表面的显微硬度提高了80%,摩擦系数降到0.16,抗磨损性能得到了显著提高.