论文部分内容阅读
采用多弧离子镀方法在低温（173K）下沉积了银和银铜薄膜，通过地面原予氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能，通过x射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析，并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明：低温沉积和铜元素合金化，可减小银薄膜的晶粒尺寸，并提高其结构致密性；低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构，这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化，从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。