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本文介绍一种量程为100g的压阻式加速度计,用硅材料制作,适于批量生产。这种新型加速度计的工作原理与原有的加速度计有所不同,检测质量块由两端支承的挠性梁支撑,利用梁上8个电阻构成的桥路来检测加速度。这一新型设计,不仅增添了横向加速度补偿功能,而且带宽、灵敏度高。加速度灵敏度为20mV/V F.S.O.,谐振基波频率为3.65kHz,检测质量块重量为4.1mg。