红外热像法无损分析硅片直接键合界面的键合强度

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提出了用红外热像无损检测SDB界面空洞和定量检测界面键合强度的方法并与破坏性拉力实验和喷砂造型法对照,证明了该方法的可行性。 The method of non-destructive testing for the hollow of SDB interface and the quantitative detection of interfacial bonding strength by infrared thermography is proposed and compared with destructive tensile test and sandblasting method, which proves the feasibility of this method.
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