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【正】 5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验室(位于美国新墨西哥州的Albuquerque)实现的工艺技术,可望成为工业界的标准工艺技术;并将取代现在普遍采用的2
5层工艺技术可以制造更可靠,更复杂的MEMS
【摘 要】
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【正】 5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验室(位于美国新墨西哥州的Albuquerque)
【出 处】
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今日电子
【发表日期】
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2000年5期
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