深紫外氧化物薄膜的光学特性

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a610735932
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
降低薄膜的吸收对于氧化物薄膜在深紫外波段的应用具有重要意义,为此采用离子束溅射方法分别制备了用于深紫外波段的Al2O3和SiO2薄膜,利用光度法和椭圆偏振法相结合,计算得到其在190~800nm范围内折射率n和消光系数k的色散曲线。在此基础上,以这两种氧化物材料作为高低折射率材料进行组合,设计并制备了λ/4规整膜系的193nm多层高反射膜。实验结果表明,退火前薄膜的光学损耗相对较大,其中散射损耗较小,吸收损耗是光学损耗的主要部分。退火后光学损耗明显减小,散射损耗随着表面粗糙度增加而略微增加,表明光学损耗的减小是由吸收损耗下降所引起的。通过工艺优化,改善了氧化物薄膜在深紫外波段的损耗状况,使其在深紫外波段具有较好的光学特性,退火后高反射膜的反射率在193nm处达96%以上。
其他文献
高血压是常见的全身性、终身性疾病,是心脑血管病最主要的危险因素,已成为公共卫生的重大问题。中药治疗高血压具有良好的效果,不仅可以降低血压,还可以缓解症状,改善患者生
礼仪在日常生活中具有重要的意义,警察礼仪也不例外。受警察职能影响,警察礼仪有着其自身的特点,同时对警察遵守警察礼仪也提出了较高的要求。但目前我国警察礼仪还存在不被
<正>一氧疗的概念氧是维持人生命最终纲要的物质。人体内三大营养素的代谢全部需要氧的参与。人体若不能获得充足的氧,其心跳、呼吸、血压、体温、思维等生命活动就不能正常
会议
今年是中华人民共和国成立61周年,30余年的改革开放在中国的历史上谱写了浓墨重彩的华章。事实雄辩地证明,改革开放是决定当代中国命运的关键抉择,是实现中华民族伟大复兴的
经济新常态是一种新的现象,表现为经济由高速增长转变为中高速增长。这是中国经济能够保持平稳发展的重要保证。当前人力资源服务业经历了巨大的发展,经过多年的探索和发展,
幼年的周恩来生活在生母、继母和乳母等组成的女性环境影响了周恩来性格的形成。天津南开学校是影响周恩来一生成长的重要环境。当他离开南开时,性格已定型,表现了以下3个性
新经济形势下,我国的市场经济注入了新鲜的血液,外资企业在市场上的比重逐渐增大,企业的财会管理工作作为企业经济活动的一个基本前提和重要环节,怎样适应新的经济环境、转换
高校师生对图书馆的使用频率非常高使用量也巨大,所以它在高校科研工作中扮演了重要的角色,它的核心存在意义,便是为学校学术研究和教学提供丰富的信息资源服务。因而,高校图书馆信息资源的建设与利用则至关重要,而图书馆和读者之间建立的积极关系则被称为图书馆关系质量,通过对用户不确定性的降低来促进用户高度认可图书馆的资源和服务并且在学习生活中依赖图书馆。关系质量会受到服务质量的影响。在近年来关于服务质量和关系
<正>宋明以来《大学》《中庸》在儒学中地位陡升并非偶然,因为跨越千年的儒学独尊到了晚唐五代即遇到了严峻的挑战,这不仅是本土化了的佛教在某些方面的影响早已超过了儒学,
会议
高血压病的发病率和增长率很高,病理病机复杂不清,严重危害人类健康。目前,高血压病无法根治,现用于治疗高血压病的化学药降压疗效显著,但需终身应用和需多药合用,也有明显不