【摘 要】
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运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运 ,考虑了来自表面和晶粒间界的散射 ,计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了F S理论
【机 构】
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运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运 ,考虑了来自表面和晶粒间界的散射 ,计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了F S理论在较薄厚度时电阻率理论结果与实验结果不相符的缺陷。
The Boltzmann equation was used to study the electron transport in the metal thin film. The scattering from the surface and grain boundaries was taken into account and the parallel resistivity of the continuous metal thin film was calculated. The obtained resistivity theoretical curve is in good agreement with the experimental curve. Make up the F S theory at thinner thickness resistivity theory and experimental results do not match the defects.
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