论文部分内容阅读
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升降温速率、进出炉速率,使硅片翘曲度降低,线宽非均匀性由±4%降低到±2%。
CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究
【摘 要】
：
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要
【机 构】
：
重庆光电技术研究所;
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
目的研究金银花中有效成分绿原酸的最佳提取条件.方法采用正交实验法以乙醇浓度(A)、溶剂量(B)、提取时间(C)和提取次数(D)4个因素,每个因素选取3个水平进行实验.结果因素A,
一、试验目的通过田间肥效对比试验,验证微生物菌剂在红枣上的施用效果,为该微生物菌剂大面积推广应用提供依据。二、材料与方法1.供试材料供试红枣品种为骏枣。供试肥料为微
期刊
合理地补充铬、镁和抗氧化剂在糖尿病治疗中的作用引起了广泛的关注,促进了该辅助治疗是否有利于糖尿病的代谢控制和预防慢性并发症的讨论。使用一种系统化处理方法分析来自
旨在初步探讨H5N1禽流感病毒引起番鸭肺和脑组织损伤的潜在机制。采用两株H5N1禽流感病毒DK383(A/Duck/Guangdong/383/2008)和DK212(A/Duck/Guangdong/212/2004)分别感染番鸭
<正> 1.某校办工厂生产折叠床的零件(如图),其中C、D处是可以活动的轴,至装配时,A、B处也要可以活动的轴,当床折叠时,ABCD一般呈四边形(图(1)),但又可并成线段(图(2));当床支
哥伦比亚河峡谷(Columbia River Gorge)位于美国西北部,在这里,风力发电量的蓬勃增长代表了可再生能源取得的成功,但是,这也给人们敲响了警钟。工程师在峡谷上建设了数以千计
目的：通过对冠状动脉造影正常的糖尿病与非糖尿病患者的校正TIMI帧数（CTFT）的对比分析，评估冠状动脉心肌水平的灌注情况与2型糖尿病的关系。方法：冠状动脉造影正常的126例患者．依据
目的用正交试验法优选砂生槐提取工艺。方法以浸膏得率、苦参碱提取率为评价指标,选择酸水浓度（ml/L）、加酸水量（倍）、提取时间（h）、为考察因素,利用正交试验L9（33）确定酸水提取砂生
目的比较加味指迷茯苓汤联合肠内营养与肠内营养治疗肠系膜上动脉综合征（SMAS）的短期及中长期疗效。方法 16例SMAS患者随机分成观察组（加味指迷茯苓汤联合肠内营养治疗,9例）和对
高校在建立规划新的建筑类专业实验室时,应将实验室安全列入考虑,从而避免二次规划和二次施工,减少资源和时间的浪费。文章以东北大学江河建筑实验中心的建设为例,结合建筑类