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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，成功制备RFMEMS振荡器。
半导体研究所成功制备RFMEMS振荡器
【摘 要】
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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，成功制备RFMEMS振荡器。
【机 构】
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中科院半导体所
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2014年1期
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