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本文介绍了Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺的研究,评估Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺层次的可行性.
Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺的研究
【摘 要】
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本文介绍了Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺的研究,评估Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺层次的可行性.
【机 构】
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无锡微电子科研中心二室
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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