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期刊论文
硅场发射二极管阵列的实验研究
硅场发射二极管阵列的实验研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bluelpower
【摘 要】
:
介绍了P型硅场发射二极管阵列的工艺与实验研究,并讨论了硅发射体表面薄氧化层对其伏安特性的影响。
【作 者】
:
刘卫东
罗恩泽
【机 构】
:
西北工大,西安电子科技大学
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
硅发射体
场发射
真空微电子学
Silicon emitters
Field emission
Vacuum microelecctronics
Tunne
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介绍了P型硅场发射二极管阵列的工艺与实验研究,并讨论了硅发射体表面薄氧化层对其伏安特性的影响。
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