磁控溅射法制备CeO2-TiO2紫外吸收薄膜

来源 :武汉理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liangzi_li1
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采用射频磁控溅射在玻璃基片上沉积具有紫外吸收CeO2-TiO2混和薄膜。通过制备一系列不同物质的量浓度比的,n(CeO2):n(TiO2)靶材(1.0:0,0.90:0.10,0.80:020,0.70:0.30,0.60:0.40,0.50:0.50,0.40:0.60,0.30:0.70,0.20:0.80,0.10:0.90,0:1.0),研究其紫外吸收性能最佳的物质的量浓度比:TiO2加入CeO2后,改变CeO2的结晶状态并提高UV吸收.采用Raman和XPS表征薄膜的特性,物质的量浓度比值在n(
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