【摘 要】
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7)其他正在开发PECVD设备的公司。目前至少有3家公司正在开发PECVD设备产品,分别是北京捷造公司、捷佳伟创公司和迈为公司。北京捷造公司已经开发出1台可用于产业化的链式PEC
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7)其他正在开发PECVD设备的公司。目前至少有3家公司正在开发PECVD设备产品,分别是北京捷造公司、捷佳伟创公司和迈为公司。北京捷造公司已经开发出1台可用于产业化的链式PECVD设备,并提供给汉能公司进行试验,且得到了不错的反馈。捷佳伟创公司致力于打造制备HJT电池时各个环节所需设备,并试图进行交钥匙解决方案。目前该公司已经拥有较为成熟的清洗设备、RPD设备(捷佳伟创公司掌握了日本住友公司关于该设备在中国的开发与销售权)、丝印设备,只缺少PECVD设备。该公司预计于2020年推出自己的用于HJT电池制
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