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采用溶胶凝胶（Sol-Gel）旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜。用XRD、SEM、UVVis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征。薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取向,呈六角纤锌矿晶体结构,随着膜厚的增加,薄膜结晶度明显提高,薄膜晶粒尺寸逐渐增大。由SEM照片观察到,厚度的增加明显促进了薄膜表面颗粒生长的均匀性与致密性。由光致发光谱表明：厚度增加,薄膜的本征发光峰增强且均出现较强的紫外发光峰和蓝光发光峰。FT-IR结果