【摘 要】
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作为半导体和液晶材料用的特气NF_3,其供应短缺正日趋严重。Kanto Denka声称它计划于2001年夏季将其NF_3生产能力提高到400t/a以上。同时,因预计NF_3市场需求会持续增长,该
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作为半导体和液晶材料用的特气NF_3,其供应短缺正日趋严重。Kanto Denka声称它计划于2001年夏季将其NF_3生产能力提高到400t/a以上。同时,因预计NF_3市场需求会持续增长,该公司还开始了另一项将其NF_3生产能力于2002年提高至
As a special gas used in semiconductors and liquid crystal materials, NF_3 is in short supply. Kanto Denka claims that it plans to increase its NF_3 production capacity to over 400t/a in the summer of 2001. At the same time, as the market demand for NF_3 is expected to continue to grow, the company has also started another increase in its NF_3 production capacity in 2002.
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