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简单的介绍了快速闪光退火炉的温度控制,简单的对快速退火炉的温区控制进行了阐述;温区多,通过精确调整各个温区的功率来达到精确控温的目的.通过计算机程控来精确控制每个温区.
快速闪光退火炉温控系统的设计和研究
【摘 要】
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简单的介绍了快速闪光退火炉的温度控制,简单的对快速退火炉的温区控制进行了阐述;温区多,通过精确调整各个温区的功率来达到精确控温的目的.通过计算机程控来精确控制每个温
【机 构】
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中国电子科技集团公司第48研究所
【出 处】
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科技致富向导
【发表日期】
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2004年期
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