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采用脉冲激光沉积薄膜技术(PLD)制备了LiCoO2薄膜,研究了氧压、衬底、靶与底衬的距离对LiCoO2薄膜结构、化学组成的影响.
PLD法制备LiCoO2薄膜的研究
【摘 要】
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采用脉冲激光沉积薄膜技术(PLD)制备了LiCoO2薄膜,研究了氧压、衬底、靶与底衬的距离对LiCoO2薄膜结构、化学组成的影响.
【机 构】
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天津理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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南开大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2013年02期
【基金项目】
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国家863项目(2011AA11A234);NSFC(51272175);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0952)
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