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本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置，以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统，以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪，用于实现对零件表面粗糙度，波度，表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构，测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。
非接触表面轮廓测量仪的研制
【摘 要】
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本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置，以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统，以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪，用于实现对零件表面粗糙度，波度，表面
【机 构】
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华中科技大学仪器系
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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2006年2期
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