湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jewelryt40b

【摘要】

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利用射频等离子体辅助分子束外延法,在刻有周期性孔点阵结构的Si衬底上生长了ZnO二维周期结构薄膜,系统研究了湿法化学刻蚀对孔形点阵Si(100),Si(111)基片表面形貌的影响,以

【作者】

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崔秀芝张天冲梅增霞刘章龙刘尧平郭阳苏

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

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2009年01期

【关键词】

：

ZnO 分子束外延 Si 湿法刻蚀

【基金项目】

：

国家科学基金(批准号:50532090,60606023和10604007);国家科技部(批准号:2007CB936203);中国科学院资助的课题~~

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利用射频等离子体辅助分子束外延法,在刻有周期性孔点阵结构的Si衬底上生长了ZnO二维周期结构薄膜,系统研究了湿法化学刻蚀对孔形点阵Si(100),Si(111)基片表面形貌的影响,以及两种初底上ZnO外延薄膜的结晶质量与周期形貌的差异.X射线衍射及扫描电子显微测试结果表明:Si(111)衬底上生长出的ZnO二维周期结构薄膜具有较好的结晶质量与较好的周期性表面形貌.该研究结果为二维周期结构的制备提供了一种新颖的方法.

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