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恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量;采用两种恒压控制模式,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在±0.01%之内;工作软件具有虚拟仪器界面,操作方便,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理.恒压式气体微流量计能够提供(3.96×10-4～3.64×10-8)Pa·m3/s范围内的气体微流量.在10-8Pa·m3/s范围内的相对合成