【摘 要】
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通过溶胶-凝胶法、离子束磁控溅射法和化学腐蚀法分别制备了PZT薄膜、PbZr_（0.52）Ti_（0.48）O_3/Ni（PZT/Ni）复合薄膜材料的鼓包样品。采用X射线衍射仪（X-ray diffraction,XRD）表征了PZ
【机 构】
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湘潭大学材料科学与工程学院,薄膜材料与器件湖南省重点实验室,北京大学工学院
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通过溶胶-凝胶法、离子束磁控溅射法和化学腐蚀法分别制备了PZT薄膜、PbZr_（0.52）Ti_（0.48）O_3/Ni（PZT/Ni）复合薄膜材料的鼓包样品。采用X射线衍射仪（X-ray diffraction,XRD）表征了PZT/Ni复合薄膜材料的物相结构;利用自主研制的多功能新型鼓包测试平台,在力场、电场、磁场作用下分别测试分析了PZT/Ni复合薄膜材料体系的力电磁耦合性能。结果表明：随着电场强度的增加,PZT薄膜的弹性模量E先增大后减小;PZT/Ni复合薄膜在电场作用下实现了电磁调控,矫顽磁场强
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