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应用有限元方法模拟计算了镀膜系统平行平面转盘在不同转速以及不同的镀膜时间下波分复用(DWDM)系统介质滤光片的成膜均匀性.结果表明,针对不同的膜料,合理选择转速和控制镀膜时间能够提高薄膜成膜的均匀性.
薄膜均匀性的有限元算法
【摘 要】
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应用有限元方法模拟计算了镀膜系统平行平面转盘在不同转速以及不同的镀膜时间下波分复用(DWDM)系统介质滤光片的成膜均匀性.结果表明,针对不同的膜料,合理选择转速和控制镀
【机 构】
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四川大学电子信息学院,西南技术物理研究所
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2003年5期
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