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溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的研究
溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的研究
来源 :南方金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jgc5961224
【摘 要】
:
采用溶胶-凝胶法,研究了催化剂和反应温度对正硅酸乙脂溶胶-凝胶过程中胶凝时间的影响,观察了不同基材上制得的SiO2薄膜的表面形貌.发现催化剂是制备良好薄膜的关健因素,反应温度
【作 者】
:
张科元
曹福想
【机 构】
:
广东省钢铁研究所,华南理工大学
【出 处】
:
南方金属
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
溶胶-凝胶
正硅酸乙脂
催化剂
胶凝时间
SIO2薄膜
sol-gel method
tetraethyl orthosilicate
catalyst
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采用溶胶-凝胶法,研究了催化剂和反应温度对正硅酸乙脂溶胶-凝胶过程中胶凝时间的影响,观察了不同基材上制得的SiO2薄膜的表面形貌.发现催化剂是制备良好薄膜的关健因素,反应温度可明显缩短胶凝时间,并在玻璃和金属粉末基体上制得了具有网状结构的SiO2薄膜.
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