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期刊论文
压力传感器半导体薄膜电桥优化设计
压力传感器半导体薄膜电桥优化设计
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caressliu
【摘 要】
:
在压力传感器芯片中,可由半导体淀积膜制作惠斯登电桥,其四臂电阻位置要满足对等、平衡,对称的要求,以往设计难免重复计算,试探盲目性大,本文经计算机优化为图。表,可以一步到位。
【作 者】
:
许德华
祝冰
【机 构】
:
北京理工大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
传感器
芯片
优化设计
半导体器件
敏感器件
Sensor Core Selectivedesign
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在压力传感器芯片中,可由半导体淀积膜制作惠斯登电桥,其四臂电阻位置要满足对等、平衡,对称的要求,以往设计难免重复计算,试探盲目性大,本文经计算机优化为图。表,可以一步到位。
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