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本发明真空等离子渗硫方法包括工件表面清洗、装入真空室、抽真空、加热硫源使之升华、在高压电场中使气态硫离子化并渗硫、充保护气体冷却、出炉，其中工件清洗后置于压升率可达10-Pa／h、极限真空可约达0．1Pa的真空室中，抽真空至20—100Pa；将置于阴极板上的工件在35—120℃下加热20．40min并保持真空度0．1—1Pa，以使工件表面上的吸附物脱附，并使表面活化；