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研制成功离子渗氮及等离子热处理用ＩＧＢＴ逆变型脉冲电源，本文介绍了其原理，关键技术，主要技术指标，特点及应用情况，该电源频率高，灭弧速度快，能显著减弱或抑制空心阴极效应，节约电能，并可提高等离子增强化学气相沉积（ＰＣＶＤ）涂层的质量。
离子渗氮及等离子热处理用IGBT逆变型脉冲电源
【摘 要】
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研制成功离子渗氮及等离子热处理用ＩＧＢＴ逆变型脉冲电源，本文介绍了其原理，关键技术，主要技术指标，特点及应用情况，该电源频率高，灭弧速度快，能显著减弱或抑制空心阴极效应，节约电能，并可提
【机 构】
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铁道部科学研究院金属及化学研究所
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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1997年11期
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