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MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。
MEMS压力传感器原理及其应用
【摘 要】
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MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后
【机 构】
：
北京航空航天大学精密光机电一体化教育部重点实验室,北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
：
2012年S1期
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