染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性

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用氯氟酸硝酸水溶液对硅单晶抛光片进行染色腐蚀,制备了多孔硅.本文研究染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性,特别是激发光强度和波长与发射光强度与波长的关系,多孔硅的稳定性和响应特性. Porous silicon was prepared by dyeing and etching the silicon single crystal polishing pad with chlorofluoric acid nitric acid aqueous solution. In this paper, the photoluminescence (PL) luminescence properties of stained and etched porous silicon are studied, especially the relationship between the intensity and wavelength of the excitation light and the intensity and wavelength of the emitted light, the stability and response characteristics of the porous silicon.
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