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冶金与制造技术在极大程度上促进了镍基合金的发展，镍基合金中各种元素含量对材料性能有直接的影响。镍基合金中各种元素的准确检测，对镍基合金产品的组织生产、质量控制和新产品研发具有重要作用。近些年来镍基合金中元素的研究分析获得了较快发展，分析方法呈现多样化，灵敏度与选择性也逐渐提高。ICP具备同时检测多种元素的特点，逐渐用于镍基合金元素分析，并且已经成为镍基合金元素分析的重要方法。本文主要采用基体匹配和内标法减少干扰，利用ICP对镍基合金元素进行分析，并对实验结果进行了讨论。